中国、日本、荷兰。
在能够制造机器的这zhe几家公司中，尤其以yi荷兰（ASML）技术最为先进。价格ge也最为高昂。光刻ke机的技术门槛极高，堪称人ren类智慧集大成的产chan物。
目前在zai全球45纳米以下高端光刻机市shi场当中，荷兰ASML市场占有you率达到80%以上，而且目前qianASML是全球qiu唯一能够达到7纳米精度光刻机ji的提供商，所以ASML才是全球芯片pian业真正的超级霸主一点都不过分。
主要yao性能指标
光刻机的主要性能指标有：支持基片的尺寸范围，分辨率、对准zhun精度、曝光方式、光源波长chang、光强均匀性、生产效xiao率等。
分辨率是对光guang刻工艺加工可以达到的最细线条精jing度的一种描述方式。光刻的分辨率lu受受光源衍射的限制，所suo以与光源、光刻系xi统、光刻胶和工艺等deng各方面的限制。
对准精度是在多层曝pu光时层间图案的de定位精度。
曝光方式分为接触接近式shi、投影式和直写式。
曝光光源波长分为紫外、深shen紫外和极紫外区域，光源yuan有汞灯，准分子激光器等。
现代的高端光刻机ji，哪些国家才能制造？荷兰和日本。最大da的光刻机制造商是荷兰ASML，这zhe是一家总部设在荷he兰埃因霍芬（Eindhoven）的全球最大的半导体设备制造商之一yi，向全球复杂集成电路生产企业提供gong领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市shi。
产品服务
ASML为半导体生产商提供光guang刻机及相关服务，TWINSCAN系列是目前世界上精度最高，生产效率最高，应用最zui为广泛的高端光刻机型。目前全球绝jue大多数半导体生产厂商，都向ASML采购TWINSCAN机型，比如英特尔（Intel）、三san星（Samsung）、海力士（Hynix）、台积电（TSMC）、中芯xin国际（SMIC）等。
ASML的产品pin线分为PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列，其中zhongPAS系列现已停产；AT系列属于老型号，多数已yi经停产。市场上的主力机种是XT系列lie以及NXT系列，为ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的机型，分为干gan式和沉浸式两种，而NXT系列则是现在主推的高端机ji型，全部为沉浸式。
光guang刻机是哪个国家生产的de光刻机的生产国guo家有荷兰、中国、日本、美mei国、韩国。相对dui于其他国家来说,目mu前的荷兰光刻机的精度为wei首。
ASML在光刻机ji生产的大部分零部件都是从国外进jin口的。专业光刻机检测ce采用美国技术，也采用yong蔡司，德国的光学镜头这些都是shi世界顶尖技术，并不是所有都可以归一个ge国家所有。光刻机是人ren类最高智慧的结晶jing，需要长期的科研投入和技术积ji累。
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